Exploring lithography lighting conditions with S-Litho | 使用S-Litho探索光刻照明条件
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S-Litho提供照明条件探索功能，寻找最佳的数值孔径，光源相干系数以及光罩的类型的最佳组合，以优化工艺窗口。
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S-Litho提供照明条件探索功能，寻找最佳的数值孔径，光源相干系数以及光罩的类型的最佳组合，以优化工艺窗口。