Exploring lithography lighting conditions with S-Litho | 使用S-Litho探索光刻照明条件
2:36
描述
相关视频
S-Litho提供照明条件探索功能,寻找最佳的数值孔径,光源相干系数以及光罩的类型的最佳组合,以优化工艺窗口。
查看更多
查看更少
2:36
S-Litho提供照明条件探索功能,寻找最佳的数值孔径,光源相干系数以及光罩的类型的最佳组合,以优化工艺窗口。